Para citar corretamente este artigo do HowStuffWorks por favor copie e cole o texto abaixo:
Kevin Bonsor. "HowStuffWorks - Como funciona o chip com litografia ultravioleta extrema (EUV)". Publicado em 24 de maio de 2001 (atualizado em 12 de abril de 2007) http://informatica.hsw.uol.com.br/fabricacao-de-chips-com-litografia-ultravioleta-extrema-euv4.htm (25 de novembro de 2009)